激光剝離(Laser-Lift-Off)作為柔性O(shè)LED制程的核心工藝之一，長期被韓國設(shè)備供應(yīng)商所壟斷。亞威艾歐斯通過引進(jìn)技術(shù)再創(chuàng)新，與德國通快公司密切合作，大幅縮短了研發(fā)進(jìn)程，在關(guān)鍵指標(biāo)和工藝性能方面均達(dá)到進(jìn)口設(shè)備水平。
我司DPSS-LLO激光剝離設(shè)備的研制成功，標(biāo)志著先進(jìn)激光技術(shù)的應(yīng)用在國產(chǎn)化進(jìn)程中取得了重要突破。
【DPSS激光剝離設(shè)備】
DPSS激光剝離是指通過固體納秒紫外激光輻照，實(shí)現(xiàn)有機(jī)發(fā)光顯示器件(PI膜)與搭載的玻璃基板分離，與傳統(tǒng)的準(zhǔn)分子脈沖激光剝離相比，具有能量輸入穩(wěn)定、生產(chǎn)效率高、不需要定期更換工作氣體等優(yōu)勢(shì)。
據(jù)媒體報(bào)道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO設(shè)備，因DPSS技術(shù)較準(zhǔn)分子激光器使用和維護(hù)成本低，并可以減少設(shè)備采購總數(shù)量。
【激光剝離工藝示意圖】
亞威艾歐斯激光剝離設(shè)備搭載的DPSS激光光學(xué)系統(tǒng)，能量利用率達(dá)85%以上。中德韓聯(lián)合研發(fā)的“Z”型折疊光路，將整個(gè)線光斑光學(xué)系統(tǒng)長度縮短30%。該系統(tǒng)整形后的線光斑長度400-750mm(可調(diào)節(jié))、寬度30μm，可同時(shí)應(yīng)對(duì)黃色和透明PI兩種產(chǎn)品的激光剝離工藝，且工藝品質(zhì)及加工效率有大幅度提升。
【光路示意圖】
【線光斑】
【激光剝離柔性顯示屏樣品】
亞威艾歐斯激光剝離設(shè)備，已對(duì)國內(nèi)數(shù)家顯示面板廠商提供的樣品進(jìn)行了測(cè)試，效果良好，達(dá)到客戶技術(shù)要求。
隨著顯示面板企業(yè)對(duì)使用成本和效率要求的不斷提高，導(dǎo)入DPSS激光剝離工藝是大勢(shì)所趨，亞威艾歐斯將繼續(xù)努力并與客戶密切協(xié)同，加快實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)交付，為柔性O(shè)LED制程關(guān)鍵設(shè)備的進(jìn)口替代做出貢獻(xiàn)。
